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喜报 | 艾科瑞思Clip Bond十二寸夹焊产线迎来多套验收
Source: | Author:小艾 | Published time: 2023-06-10 | 582 Views | Share:

艾科瑞思Clip Bond十二寸夹焊产线

迎来多套验收


当我们从燃油车时代快步奔向新能源车时代的今天,你知道我们的汽车发生了哪些变化吗? 

重大变化之一就是单车芯片总数快速攀升,如上图,看看一辆特斯拉的芯片数量,你有没有觉得这马路上跑的已经不是汽车了?分明就是一张一张的晶圆!

 资料来源:方正证券《汽车半导体研究框架—专题报告》(2020.12.14)


车用半导体器件种类非常之多(如上图),占到车用半导体器件的一半以上,但是大量依赖进口。那么车用功率器件与其他车用半导体(如功能芯片、传感器芯片)相比有什么特殊性呢?车用功率器件与民用(消费)级和工业级功率器件相比又有什么特殊性呢?

小知识

    功率器件,又称电力电子器件,能够实现电能转换和电路控制,在电路中主要起着功率转换、功率放大、功率开关、线路保护、逆变(直流转交流)和整流(交流转直流)等作用。


车用功率器件特殊性的核心就是 可靠性。由于车用半导体的特殊使用场景(汽车)和功率器件的特殊工作环境(高电压、大电流),车用功率器件对可靠性要求极高。1ppm失效率代表每百万器件中有1个失效,这在民用(消费)级和工业级半导体中已经是非常极致的优秀品质了,可是在车用领域却是难以接受的。以特斯拉为例,每辆车3500颗半导体器件,每天产10000辆车,1ppm失效意味着每天将有35辆车有缺陷,这显然不能被允许。简而言之,车用功率器件需要做到“ 零缺陷 ”!这听起来有点“强人所难”,怎么才能做到呢?核心关键是 工艺保障

上图:引线键合工艺


上图是功率器件传统封装过程中的引线键合工艺,就是用粗铝线象缝纫一样把芯片与基板焊盘紧密焊合,实现芯片与基板间的电气互连。这种引线键合工艺虽然被广泛应用,但可靠性尚存风险,一种更可靠的夹焊工艺脱颖而出。

上面动画显示的就是夹焊工艺的流程,首先点锡膏把芯片固定在引线框架上,然后再点锡膏叠加一块铜片连通芯片和旁边的引线框架,用这种“三明治”式的夹焊方式实现导通。与传统焊线工艺相比,夹焊工艺的优点明显:散热更好、可靠性更高、器件更薄,被包括车规级器件在内的中高端应用市场广泛使用。

上图:可以采用夹焊工艺的半导体功率器件封装形式


上图:采用夹焊工艺贴装好的产品


艾科瑞思此次迎来验收的Clip Bond十二寸夹焊产线正是针对这一夹焊工艺的成套装备,因为涉及到的关键技术门槛高、种类多,目前国内设备市场,这种成套装备主要被全球最大的半导体封测设备供应商荷兰ASM公司垄断。在那些交付的日日夜夜里,艾科瑞思的销售、研发、客服团队与客户一同奋战,终于不负众望、圆满完成了交付任务,成功验收。这条产线的“国产替代”将给中国半导体功率器件客户带来新的选择,对我国半导体装备的自主可控贡献了一份力量。

上图:Clip Bond生产线整体外观

艾科瑞思Clip Bond十二寸夹焊产线标准版包含一台装片机HX3800、一台高精度铜片装片机CB3800和一台真空回流焊炉,这套产线具有精度高、速度快、功能强、适用广泛等特点。相关技术指标高于行业水平,空洞率低,优于ASM;薄芯片处理能力强;支持12寸晶圆,可联机拓展支持多种芯片封装或者更高产能,支持高精度多孔点胶,大芯片/薄芯片装片等高端应用。

上图:Clip Bond生产线作业实况



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