YX 2100 / 悦芯2100 洁净制程画胶装片机
Publish time 2024-05-20 00:00
1.满足高等级洁净制程装片工艺要求
2.多达4个点胶头，画胶产能更高
3.针对光学器件（如滤光片）装片进行特殊优化
4.武藏点胶控制器，画胶更优越
5.支持设备联网、SECS/GEM协议
| 设备型号 | YX2100 |
设备性能 System Capability | 装片精度 XY Placement | ±25μm |
| 角度 Angular Placement | ±0.5° |
| UPH | 2 K |
支持产品规格 Material Handing Capability | 芯片尺寸 Die Size | 0.3mm to 6mm |
| 载具尺寸 Carry Size | Length: 100 mm to 200 mm Width: 40 mm to 95 mm Thickness: Max 10 mm |
| 深腔 Deep Cavity | Max 2 mm |
| 点胶 Dispenser | 数量 Num | Max 4 |
| 焊头 Bond Head | 键合力 Bond Force | 50-250 g |
| 晶圆台 Wafer Stage | 晶圆尺寸 Wafer Size | Max 8 inch |
设备尺寸 Dimensions | 重量 Weight | 2400 Kg |
| 长x宽x高 W x D x H | 2400×1750×1700mm |
