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  • YX 2100 / 悦芯2100 洁净制程画胶装片机

  • YX 2100 / 悦芯2100 洁净制程画胶装片机

    1.满足高等级洁净制程装片工艺要求

    2.多达4个点胶头，画胶产能更高

    3.针对光学器件（如滤光片）装片进行特殊优化

    4.武藏点胶控制器，画胶更优越

    5.支持设备联网、SECS/GEM协议

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Product Description

1.满足高等级洁净制程装片工艺要求

2.多达4个点胶头，画胶产能更高

3.针对光学器件（如滤光片）装片进行特殊优化

4.武藏点胶控制器，画胶更优越

5.支持设备联网、SECS/GEM协议

设备型号

YX2100

设备性能

System Capability

装片精度  XY Placement±25μm
角度  Angular Placement±0.5°
UPH2 K

支持产品规格

Material 

Handing Capability

芯片尺寸  Die Size0.3mm to 6mm
载具尺寸  Carry Size

Length: 100 mm to 200 mm

Width: 40 mm to 95 mm

Thickness: Max 10 mm

深腔  Deep CavityMax 2 mm
点胶 Dispenser数量  NumMax 4
焊头 Bond Head键合力  Bond Force50-250 g
晶圆台 Wafer Stage晶圆尺寸  Wafer SizeMax  8  inch

设备尺寸

Dimensions

重量 Weight2400 Kg
长x宽x高  W x D x H2400×1750×1700mm


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